PHIL佐藤 小型CVD設(shè)備 SFCV-1501
管式爐型高溫?zé)峄瘜W(xué)氣相沉積系統(tǒng)，適用于大學(xué)和研究機(jī)構(gòu)開發(fā)石墨烯等各種碳?xì)浠衔锊牧稀?該系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了小型化，因此可以通過簡(jiǎn)單的操作生產(chǎn)小批量和小尺寸試件，同時(shí)還能顯著降低成本。 此外，該系統(tǒng)還配備了 5-100 Pa 的壓力控制功能，這在以往的小型系統(tǒng)中是很難實(shí)現(xiàn)的，從而使其能夠用于更多的加工模式。 該系統(tǒng)還配備了針對(duì)易燃碳?xì)浠衔餁怏w的**裝置，如用于關(guān)閉設(shè)備的報(bào)警檢測(cè)系統(tǒng)和用于稀釋釋放到大氣中的氣體的氣體稀釋裝置。
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