高真空排氣系統(tǒng)

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產(chǎn)品名稱: 高真空排氣系統(tǒng)

產(chǎn)品型號: DPS-4-ZB

產(chǎn)品廠商: 巖瀨商事

產(chǎn)品品牌: PHIL佐藤

產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔

高真空排氣系統(tǒng) 的詳細介紹

PHIL佐藤高真空排氣系統(tǒng) DPS-4-ZB

特點
適用于高真空條件下的各種實驗、開發(fā)和生產(chǎn)過程。
風冷系統(tǒng)無需水管，減輕了維護負擔。
100 V 電源，可在任何地點使用。
鋁制主框架和底座，重量輕。
設(shè)計緊湊，使用方便。
渦輪分子泵排氣系統(tǒng) <TPS> 類型
通過將輔助泵與隔膜式干式真空泵或渦旋式干式真空泵相結(jié)合，可實現(xiàn)全干式抽氣系統(tǒng)。
啟動和關(guān)閉時間短。
渦輪分子泵的結(jié)構(gòu)具有很強的抗意外引入大氣的能力。
(注：反復(fù)有意引入大氣可能會導致故障。
機油擴散泵排氣系統(tǒng) <DPS> 型
可以較低成本獲得高真空氣氛。
通過三通閥切換功能，只需一臺輔助泵即可獨立運行。
易于維護和檢查。
<TPS>類型

型　　式	TPS-50ZA	TPS-50ZB	TPS-50ZC	TPS-220ZA	TPA-220ZB	TPS-220ZC
ターボ分子ポンプ	50L/s			220L/s
補助ポンプ	DW-60	USW-50N	MZ-2CNT	DW-120	USW-100N	ISP-250C
到達圧力	×10^-5Pa^*1		×10^-3Pa^*1	×10^-5Pa^*1		×10^-4Pa^*1
起動/停止時間	3/3min^*2			2.2/3.5min^*2
吸気口徑	VG-65			VG-100
所要電力（AC）	100V 15A
質(zhì)量	約51kg	約55kg	約45kg	約56kg	約59kg	約70kg
外形寸法 (W×D×Hmm)	600×400×700	600×400×750	600×400×700	600×400×730	600×400×800	600×400×850

<DPS類型

型　　式	DPS-2-ZA	DPS-2-ZB	DPS-3-ZA	DPS-3-ZB	DPS-4-ZA	DPS-4-ZB
油拡散ポンプ	58L/s		150L/s		215L/s
補助ポンプ	DW-60	USW-50N	DW-120	USW-100N	DW-120	USW-150N
到達圧力	×10^-4Pa^*3
起動時間	17min^*2		22min^*2
吸気口徑	VF-50		VF-80		VF-100
所要電力（AC）	100V 15A		100V 15A×2^*4
質(zhì)量	約57kg	約60kg	約68kg	約70kg	約70kg	約80kg
外形寸法 (W×D×Hmm)	600×400×935		600×400×995	600×400×1095	600×400×1030	600×400×1130

＊ 1: 渦輪分子泵烘烤和脫氣后泵頭上的數(shù)值。
啟動時間是在進氣口關(guān)閉的情況下測量的。時間取決于腔室容量。
3 進氣口關(guān)閉時的數(shù)值。
輔助泵和主泵配有獨立的電源插頭。
還可提供定制版本，其中包含各種可選組件，以滿足客戶的可用性和規(guī)格要求。

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PHIL佐藤 高真空排氣系統(tǒng) DPS-4-ZB

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